ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО- І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ

Автор(и)

  • С. Ф. Петренко НПК ТОВ «ЛИЛЕЯ», Ukraine
  • О. Г. Новаковський Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Ukraine
  • Віктор Степанович Антонюк Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Ukraine
  • Є. В. Скорина Черкаський державний технологічний університет, Ukraine
  • Юлія Юріївна Бондаренко Черкаський державний технологічний університет, Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.24025/2306-4412.1.2018.153265

Ключові слова:

мікрогеометрія, діелектрик, мікроелектроніка, наноелектроніка, атомно-силова мікроскопія

Анотація

У статті коротко розглянуті особливості проведення дослідження мікрогеометрії і поверхневих властивостей діелектричних матеріалів для мікро- і наноелектроніки із застосуванням методу АСМ. Показано переваги та обмеження застосування цього методу для дослідження поверхні і поверхневих властивостей діелектриків.

##submission.downloads##

Як цитувати

Петренко, С. Ф., Новаковський, О. Г., Антонюк, В. С., Скорина, Є. В., & Бондаренко, Ю. Ю. (2018). ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО- І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ. Вісник Черкаського державного технологічного університету, 1(1), 5–13. https://doi.org/10.24025/2306-4412.1.2018.153265

Номер

Розділ

Статті

URN