URN: http://vtn.chdtu.edu.uaurn:2306:44551.2018.153265

DOI: https://doi.org/10.24025/2306-4412.1.2018.153265

ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО- І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ

С. Ф. Петренко, О. Г. Новаковський, Віктор Степанович Антонюк, Є. В. Скорина, Юлія Юріївна Бондаренко

Анотація


У статті коротко розглянуті особливості проведення дослідження мікрогеометрії і поверхневих властивостей діелектричних матеріалів для мікро- і наноелектроніки із застосуванням методу АСМ. Показано переваги та обмеження застосування цього методу для дослідження поверхні і поверхневих властивостей діелектриків.


Ключові слова


мікрогеометрія; діелектрик; мікроелектроніка; наноелектроніка; атомно-силова мікроскопія

Повний текст:

PDF

Пристатейна бібліографія ГОСТ


1. Суслов А. А., Чижик С. А. Сканирующая зондовая микроскопия. Материалы, технологии, инструменты. 1997. № 3. С. 78.


2. Чижик С. А., Свириденок А. П., Суслов А. А. Глаза и руки нанотехнологий. Наука и инновации. 2009. № 3. С. 53–55. 


3. Антонюк В. С., Тимчик Г. С., Бондаренко Ю. Ю. та ін. Методи та засоби мікроскопії. Київ: НТУУ «КПІ», 2013. 336 с. 


4. Антонюк В. С., Тимчик Г. С., Верцанова О. В. та ін. Мікроскопія в нанотехнологіях. Київ: НТУУ «КПІ», 2014. 258 с. 


5. Бардин В. А., Васильев В. А., Чернов П. С. Принципы построения и перспективы исследований пьезоактюаторов для нано- и микропозиционирования. Нано- и


6. Meyer, E. Atomic force microscopy. Progress in Surface Science. 1992, vol. 41, iss. 1. Р. 3–49. 


7. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондов й микроскопии. Н. Новгород: Инт физики микроструктур РАН, 2004. 143 с. 

8. Binnig G., Quate C. F., Gerber C. Atomic force microscope. Phys. Rev. Lett. 1984, vol. 56. Р. 930–933. 


9. Giessibl F.J. Advances in atomic force microscopy. Reviews of modern physics. 2003, vol. 75. Р. 949–983. 


10. Jalili N., Laxminarayana K. A review of atomic force microscopy imaging systems: application to molecular metrology and biological sciences. Mechatronics. 2004, vol.14. Р. 907–945. 


11. Magonov S. N., Myung-Hwan Whangbo Dr. Surface analysis with STM and AFM: Experimental and theoretical aspects of image analysis. Oxford, UK: Wiley. September 2008. 335 p. 


12. Boisen A. AFM probes with directly fabricated tips. Journal of Micromechanics and Microengineering. 1996, vol. 6, iss. 1. Р. 58–62. 


13. NT-MDT. URL: http://www.ntmdttips.com/catalog/gratings/afm_cal/products.html (21.01.2017). 


14. Ashhab M. Dynamical analysis and control of microcantilevers. Automatica. 1999, vol. 35, iss. 10. Р. 1663–1670. 


15. Liu H. Advanced atomic force microscopy probes: Wear resistant designs. Journal of Vacuum Science & Technology B. 2005, vol. 23. Р. 3090–3093. 


16. Бахтизин Р. З., Галлямов Р. Р. Физические основы сканирующей зондовой микроскопии. Уфа: РИО Баш. ГУ, 2003. 82 с. 


17. Cappella В., Dieller G.Force-distance curves by atomic microscopy. Surface Sci. Rep. 1999, v. 34. Р. 1–12. 


18. Fleming A. J. A review of nanometer resolution position sensors: Operation and performance. Sensors and Actuators A. 2013. № 190. P. 106–126. 


19. Persson В. N. J. Sliding friction: physical principles and applications. Berlin: Springer, 1998





Copyright (c) 2018 С. Ф. Петренко, О. Г. Новаковський, Віктор Степанович Антонюк, Є. В. Скорина, Юлія Юріївна Бондаренко