ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ

Автор(и)

  • К. В. Базіло Черкаський державний технологічний університет, Ukraine
  • С. О. Білокінь Черкаський державний технологічний університет, Ukraine
  • М. О. Бондаренко Черкаський державний технологічний університет, Ukraine
  • В. В. Медяник Черкаський державний технологічний університет, Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.24025/2306-4412.3.2018.162704

Ключові слова:

мікроелектромеханічні структури, атомно-силова мікроскопія, мікронерівність поверхні, мікродефекти.

Анотація

Нині провідні виробники радіоелектронних компонентів серійно випускають досить ве-ликий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури. Основна перевага використання у вимірювальних приладах елементів з п'єзокерамічних матеріалів обумовлюється їх особливою структурою, яка дозволяє реалізувати в одному такому елементі принципово різні схеми, наприклад, для одночасного вимірювання температури, тиску і вологості. Метою роботи є вивчення методом атомно-силової мікроскопії прихованих мікродефектів і мікронерівностей поверхонь п'єзоелектричних перетворювачів.

##submission.downloads##

Як цитувати

Базіло, К. В., Білокінь, С. О., Бондаренко, М. О., & Медяник, В. В. (2018). ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П’ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ. Вісник Черкаського державного технологічного університету, 1(3), 21–26. https://doi.org/10.24025/2306-4412.3.2018.162704

Номер

Розділ

Статті

URN