[1]
Петренко, С.Ф., Новаковський, О.Г., Антонюк, В.С., Скорина, Є.В. і Бондаренко, Ю.Ю. 2018. ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО- І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ. Вісник Черкаського державного технологічного університету. 1, 1 (Бер 2018), 5–13. DOI:https://doi.org/10.24025/2306-4412.1.2018.153265.