Петренко, С. Ф.; Новаковський, О. Г.; Антонюк, В. С.; Скорина, Є. В.; Бондаренко, Ю. Ю. ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО- І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ. Вісник ЧДТУ 2018, 1, 5-13.