БАЗІЛО, К. В.; БІЛОКІНЬ, С. О.; БОНДАРЕНКО, М. О.; МЕДЯНИК, В. В. ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П’ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ. Вісник Черкаського державного технологічного університету, [S. l.], v. 1, n. 3, p. 21–26, 2018. DOI: 10.24025/2306-4412.3.2018.162704. Disponível em: http://vtn.chdtu.edu.ua/article/view/162704. Acesso em: 27 квіт. 2024.