Петренко СФ, Новаковський ОГ, Антонюк ВС, Скорина ЄВ, Бондаренко ЮЮ. ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО- І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ. Вісник ЧДТУ [інтернет]. 19, Березень 2018 [цит. за 29, Квітень 2024];1(1):5-13. доступний у: http://vtn.chdtu.edu.ua/article/view/153265