URN: http://vtn.chdtu.edu.uaurn:2306:44552.2018.161938

DOI: https://doi.org/10.24025/2306-4412.2.2018.161938

МЕТАЛІЗАЦІЯ ТЕХНІЧНОГО СКЛА З ВИКОРИСТАННЯМ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОГО МЕТОДУ МІКРООБРОБКИ ПОВЕРХНІ

М. В. Голуб, С. М. Мацепа, Г. В. Канашевич, О. С. Алексєєва, Є. В. Хижняк, П. П. Дмитренко

Анотація


Представлені дані з електронно-променевої обробки для покращення адгезійної міцності металевих плівок. В основі лежить спрямована зміна фізико-хімічних властивостей приповер-хневого шару скла шляхом обробки стрічковим електронним потоком з енергією електронів Е≤ 8 кеВ. Результати можуть бути використані в прецизійних технологіях мікрооптики та інтегральної оптики.

Ключові слова


електронний потік; електронно-променева обробка; електронно-променева мікрообробка; приповерхневий шар скла; силікатне скло.

Повний текст:

PDF

Пристатейна бібліографія ГОСТ


1.Буркат Т. М., Добычин Д. П., Пальти-ель Л. Р. Кинетика и механизм сорбции во-ды на оптической поверхности кварцевого стекла. Докл. АН СССР. 1990. Т. 310. № 2. С. 376-379.


 2.Пальтиель Л. Р. Структура и адсорбцион-ные свойства поверхности кремнесодер-жащих оптических материалов и их мо-дифицирующих покрытий: автореф. дис... канд. химич. наук: Ленинград, 1990. 19 с.


3. Глебов Л. Б., Ильин В. Г., Моисеев В. В. Научные основы ионнообменного синтеза элементов градиентной оптики. Стеклооб-разное состояние. Труды XIII Всесоюзного совещания. Ленинград, 1986. С. 125–139.


4.Глебов Л. Б., Докучаев В. Г., Евстропь-ев Г. Т. Влияние структурных микрона-пряжений на формирование показателя преломления стекол при низкотемператур-ном ионном обмене. Физика и химия стек-ла. 1988. Т. 14. № 1. С.79–86.


5.Топорец А. С. Оптика шероховатой по-верхности. Л.: Машиностроение, Ленин-градское отделение, 1988. 191 с.


6.Богданов А. П., Бунин И. Г. Доводка фор-мы оптической поверхности ионным пуч-ком малого сечения, управляемым програмированным перемещением. ОМП. 1988, №2. С. 39–42.


 7.Стогний А. И., Новицкий Н. Н., Стука-лов О. М. Ионно-лучевое полирование наноразмерного рельефа поверхности оп-тических материалов. Письма в ЖТФ, Т. 28. Вып. 1. 2002. С. 39–47.


8.Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю. Матема-тические основы проектирования высоко-температурных технологических процес-сов. М.: Наука, 1986. 80 с.


9.Щерба А. І., Канашевич Г. В., Дробот І. В., Алгоритм керування якістю поверхневого шару оптичних матеріалів при електронно-променевій мікрообробці. Вісник Нац. техн. ун-ту "ХПІ" : зб. наук. пр. Темат. вип.: Математичне моделювання в техніці та технологіях. Харків : НТУ "ХПІ". 2012. № 27. С. 231–239.


10.А. с. 1488270 СССР, МКИ4 C 03 С15/00. Способ подготовки поверхности оптическо-го стекла / А. П. Жужнева, В. П. Маслов, А. В. Тарадов, А. Н. Старшов, И. В. Кали- ниченко (СССР). № 4278563/23-33 заявл. 08.06.87 ; опубл. 23.06.89, Бюл. № 23. 1 с.





Copyright (c) 2018 М. В. Голуб, С. М. Мацепа, Г. В. Канашевич, О. С. Алексєєва, Є. В. Хижняк, П. П. Дмитренко