URN: http://vtn.chdtu.edu.uaurn:2306:44553.2018.162704

DOI: https://doi.org/10.24025/2306-4412.3.2018.162704

ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ

К. В. Базіло, С. О. Білокінь, М. О. Бондаренко, В. В. Медяник

Анотація


Нині провідні виробники радіоелектронних компонентів серійно випускають досить ве-ликий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури. Основна перевага використання у вимірювальних приладах елементів з п'єзокерамічних матеріалів обумовлюється їх особливою структурою, яка дозволяє реалізувати в одному такому елементі принципово різні схеми, наприклад, для одночасного вимірювання температури, тиску і вологості. Метою роботи є вивчення методом атомно-силової мікроскопії прихованих мікродефектів і мікронерівностей поверхонь п'єзоелектричних перетворювачів.

Ключові слова


мікроелектромеханічні структури; атомно-силова мікроскопія; мікронерівність поверхні; мікродефекти.

Повний текст:

PDF

Пристатейна бібліографія ГОСТ


1. Varadan V., Vinoy K., Jose K. RF MEMS and their applications. 2002. John Wiley & Sons Ltd. 406 p.


2. Бондаренко М. А., Бондаренко Ю. Ю. и др. Применение метода атомносиловой микроскопии в прогнозировании срока эксплуатации пьезоэлектрических преобразовате-лей медицинских приборов. Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии 2006: материалы VII Междунар. семинара. Минск, 2006. С. 143–147.


3. Петрищев О. Н. Гармонические колебания пьезокерамических элементов. Часть 1. Гармонические колебания пьезокерамических элементов в вакууме и метод резонанса – антирезонанса. Киев: Аверс, 2012. 300 с.


4. Yan Le, Wu Jian, Tang W. C. Piezoelectric micromechanical disk resonators towards UHF band. 2004. Vol. 2. Р. 926–929.


5. Wang Jing, Ren Z., Nguyen C. T.-C. 1.156-GHz self-aligned vibrating micromechanical disk resonator. IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control. 2004. Vol. 51. No. 12, Dec. Р. 1607–1628.


6. Nguyen C. T.-C. Integrated micromechanical circuits fueled by vibrating RF MEMS tech-nology. 2006. Р. 957–966.


7. Nguyen C. MEMS technology for timing and frequency control. IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control. 2007. Vol. 54. No. 2. Р. 251–270.


8. Бондаренко М. А. и др. Формирование упорядоченных наноструктур на пьезо-электрической керамике системы ЦТС термическим осаждением в вакууме. Эффективность реализации научного, ресурсного и промышленного потенциала в современных условиях: материалы Х Юбил. междунар. пром. конф. с. Славское Львов-ской обл., 2010. С. 159–160.


9. Шарапов В. М., Гуржий А. М., Бондаренко М. А. и др. Исследование характеристик токопроводящих электропроводных пьезокерамических элементов. Вісник Черкаського державного технологічного універси-тету. Серія: Технічні науки. Черкаси: ЧДТУ, 2007 (спецвип.). С. 258–260.





Copyright (c) 2018 К. В. Базіло, С. О. Білокінь, М. О. Бондаренко, В. В. Медяник